ЖУРНАЛ СТА 2/2015

96 СТА 2/2015 РАЗРАБОТКИ МАШИНОСТРОЕНИЕ www.cta.ru В ВЕДЕНИЕ Irida – это серия кластерного вакуум- ного оборудования на основе уникаль- ного энергосберегающего источника плазмы высокой плотности, благодаря которому осуществляются процессы ва- куумного ионно-плазменного нанесе- ния, травления и очистки изделия. Данная серия используется для реа- лизации следующих процессов: ● металлизация различных поверхно- стей; ● напыление резистивных плёнок; ● нанесение многофункциональных покрытий (оптические, упрочняю- щие, декоративные). Установка Irida D21A (рис. 1) позво- ляет наносить покрытия на подложку диаметром до 200 мм путём магнетрон- ного распыления мишеней из электро- проводных материалов, а также из ди- электрических, в случае использования высокочастотных блоков питания. Технологический процесс напыления плёнки на изделия в общем случае де- лится на следующие этапы: ● загрузка обрабатываемого изделия в шлюзовую камеру установки; ● транспортировка изделия в рабочую камеру установки; ● откачка воздуха из рабочей камеры до требуемого давления (вакуума); ● нагрев изделия до заданной темпера- туры; ● очистка поверхности изделия при по- мощи ионного источника; ● последовательное напыление материа- лов на изделия с каждого магнетрона; ● транспортировка изделия в шлюзо- вую камеру; ● выгрузка изделия. С ОСТАВ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ Электрооборудование установки Irida D21A полностью размещено на техно- логическом агрегате, что позволяет обойтись без отдельного шкафа, упро- щает монтаж-демонтаж установки, повышает на- дёжность и удобство раз- мещения на предприя- тии. По обеим сторонам установки находятся па- нель питания и панель управления, на DIN-рей- ках которых установлены источники питания и ап- паратура управления – контроллеры и реле. Стандартное 19 ″ оборудо- вание (компьютер, блоки управления) установлено сзади. Структура и состав системы управления уста- новкой представлены на рис. 2. Автоматизированное рабочее место оператора (верхний уровень) со- стоит из консоли управ- ления, на которой на- ходятся монитор с 15 ″ сенсорным экраном, кла- виатура и оптическая мышь. Оператор может изменять поло- жение монитора (в том числе и по вы- соте). Для визуального оповещения о состоянии установки предусмотрена трёхцветная световая колонна. На уровне обработки алгоритмов управления используется промышлен- ный компьютер. Автоматизированная система управления вакуумным технологическим оборудованием Данил Коротенко Статья посвящена автоматизации вакуумного технологического оборудования серии Irida компании «ЭСТО-Вакуум», которое используется для напыления, травления и осаждения различных материалов. Описана концепция программного обеспечения, позволяющего масштабировать его практически для любого проекта АСУ ТП. Рис. 1. Установка Irida D21A