СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА 2011-3

В ВЕДЕНИЕ Долговечность и надёжность даже в критических условиях применения приобретает всё возрастающие зна чение для чувствительных элемен тов (ЧЭ) термометров сопротивления (ТС). Высокая чистота и химическая устойчивость, а также физические свойства платины предопределяют её использование в качестве материала для ЧЭ. С внедрением тонкоплёночной тех нологии в 1970 х годах началось развитие специальных версий тем пературных ЧЭ для массовых рын ков. Накопленный опыт и постоян ное стремление к совершенствова нию позволяет сегодня изготавливать сравнительно дешёвые тонкоплёноч ные платиновые ЧЭ и корпусирован ные температурные датчики с приме нением современных производствен ных методов, таких как вакуумное напыление и фотолитография. На рынке доступны температурные дат чики со значениями номинального сопротивления 100, 200, 500, 1000, 2000 и 10 000 Ом. Фирма Heraeus Sensor Technology (HST) поставляет сегодня на миро вой рынок долговечные, точные и воспроизводимые тонкоплёночные ЭЛЕМЕНТЫ И КОМПОНЕНТЫ 28 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 3 2011 Тонкоплёночные платиновые чувствительные элементы термометров сопротивления при монтаже и эксплуатации Александр Ядевич (г. Минск, Беларусь) В статье рассмотрены некоторые параметры тонкоплёночных платиновых чувствительных элементов, оказывающих влияние на процесс изготовления термометров сопротивления и их последующую эксплуатацию. платиновые ЧЭ и температурные дат чики. Основанием для рыночного превосходства является не только владение свойствами материалов и процессами нанесения различных слоёв и покрытий, но и применение надёжных технологических процес сов производства, продуманного и чёткого управления качеством про дукции. Кроме нескольких десятков миллио нов температурных датчиков, фирма HST производит также датчики потока газовой массы для систем управления катализатором дизельных двигателей и мультисенсорные платформы, ис пользуя свои наработки в области тон коплёночных технологий на основе платины. Основными потребителями темпе ратурных датчиков фирмы HST явля ются производители автомобилей, бытовой техники, приборов управ ления технологическими процесса ми, техники для отопления и венти ляции, для научных исследований в области естествознания и электрони ки и высокотехнологичных произ водств. Все стандартные платиновые тон коплёночные температурные датчики фирма HST изготавливает с соблюде нием современных норм по RoHS и REA, позволяющих обеспечить требуе мый уровень защиты здоровья людей и окружающей среды. Фирма HST классифицирует произ водимые тонкоплёночные платиновые температурные сенсоры следующим образом: ● ЧЭ термометров сопротивления с проволочными выводами: – C – для криогенных температур (–196…500 ° C), – L – для низких температур (–50…400 ° C), –M (MN, МН) – для средних темпера тур (–70…600 ° C), – H (HA, HD, HL) – для высоких тем ператур (–70…1000 ° C); ● сенсорные компоненты в корпусах для поверхностного монтажа SMD, SOT 223 и TO 92; ● температурные датчики специаль ной конструкции (L 622 DBC, LG, PCB, MR 518 G, MR 828/845); ● сенсорные модули (MSP 332, MSP 632, MSP 769, микронагреватель Pt 6,8 M1020). К ЛАССЫ ДОПУСКА Фирма HST поставляет платиновые температурные датчики в соответ ствии с DIN EN60751. Классы допуска для плёночных ЧЭ представлены в таб лице 1. Используя тонкоплёночные плати новые температурные сенсоры фир мы HST, можно изготавливать термо метры либо использовать в качестве термометров датчики с классами до пуска, представленными в таблице 2. Кроме того, тонкоплёночные плати новые ЧЭ могут группироваться по допуску с максимальным Δ t = 0,1 К в диапазоне от 0 до 100 ° С. Имеются так же ЧЭ с иными классами допуска для других ценовых диапазонов, напри мер 1/10 B, или с классом допуска 2B и ±0,5%. Ниже приведены некоторые техни ческие и технологические парамет ры, обеспечивающие выполнение основных технических требований к тонкоплёночным платиновым ЧЭ тер Таблица 1. Классы допуска для плёночных ЧЭ Класс допуска Диапазон измерений,°С Предельное отклонение,°С F 0,1 От 0 до +150 0,1 + 0,0017 | t | F 0,15 От –30 до +300 0,15 + 0,002 | t | F 0,3 От –50 до +500 0,3 + 0,005 | t | Таблица 2. Классы допуска для термометров Класс допуска Диапазон измерений,°С Предельное отклонение,°С AA От 0 до +150 0,1 + 0,0017 | t | A От –30 до +300 0,15 + 0,002 | t | B От –50 до +500 0,3 + 0,005 | t | © СТА-ПРЕСС