СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА 2011-8
РЫНОК 8 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 8 2011 На правах рекламы Новости российского рынка Чистая зона для микроэлектроники По заказу одного из российских научных институтов, специалистами ЗАО «Лами нарные системы» была разработана и из готовлена новая конструкция чистой зоны класса чистоты 5ИСО по ГОСТ ИСО 14644 1 2002 для производства материалов осо бой степени чистоты. Особенность данной конструкции заклю чается в том, что в её состав входят: ● рабочее помещение, соответствующее классу 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644 1 2002 в построенном состоянии по рассматриваемому размеру частиц ≥ 0,5 мкм; ● вспомогательное помещение, соответ ствующее классу 7 ИСО по ГОСТ ИСО 14644 1 2002 в построенном состоянии по рассматриваемому размеру частиц ≥ 0,5 мкм; ● шлюз с обдувом; ● помещение тамбура; ● вытяжной шкаф, интегрированный в ра бочее помещение зоны. Как и во всех изделиях данного класса чистоты, потолок этой чистой зоны состоит из сплошного набора фильтровентиляци онных модулей, забирающих воздух из по мещения установки. Чистота внутри рабо чего пространства зоны обеспечивается путём выдавливания загрязнений потоком однонаправленного очищенного воздуха (эффект воздушного поршня). По перимет ру потолка закреплены элементы, направ ляющие воздушный поток, которые выпол нены из металлических сэндвич панелей со специальным покрытием. Все сочлене ния изделия уплотнены химически стойкой резиной или герметизированы. Ввод в эксплуатацию новой чистой зоны позволил уменьшить затраты на отделку капитальных стен, потолков, полов и полу чить в обычном производственном поме щении чистую зону, которая по аналогии представляет комплекс особо чистых по мещений. Специалисты ЗАО «Ламинарные систе мы» имеют 15 летний опыт создания слож ных инженерных систем в области чистых помещений и чистых зон. Оригинальные конструкторские и технологические разра ботки, уникальные методики тестирования продукции, обширная производственная база и собственная испытательная лабора тория, оснащённая современным измери тельным и тестовым оборудованием, поз воляют предприятию учитывать практичес ки все запросы потребителей. Чистые зоны производства ЗАО «Лами нарные системы» имеют ряд конструктив ных особенностей и конкурентных преиму ществ. Благодаря специальной запатенто ванной конструкции выходного устройства фильтровентиляционных модулей, чистые зоны имеют очень ровный вектор скорос тей по всей поперечной площади зоны даже при очень больших размерах. Это позволяет гарантированно создавать одно направленный (ламинарный) поток нисхо дящего воздуха, что крайне важно для чис тых зон 5 го класса ИСО по ГОСТ ИСО 14644 1 2002 и выше. Кроме того, замена выходного НЕРА фильтра при такой конст рукции не требует специальных навыков и может быть осуществлена одним челове ком без необходимости привлечения сто ронних специалистов. «Умная» система управления AIS LS, яв ляющаяся также разработкой специалис тов предприятия, самостоятельно отслежи вает загрязнённость фильтров, установлен ных в фильтровентиляционных модулях, автоматически повышая при необходимос ти скорость вращения вентиляторов, и ин формирует потребителя обо всех неисправ ностях системы, а также о необходимости замены фильтров. Модульность конструкций производимых зон, с учётом наработанных типовых узлов, позволяет в минимальные сроки решать самые разнообразные задачи. При техно логической необходимости произвольное количество чистых зон может быть объеди нено в единую систему, управляемую с одного пульта с возможностью диспетче ризации параметров каждой из зон по от дельности. Внутри чистой зоны может быть установ лено любое оборудование, в том числе ламинарные боксы и вытяжные шкафы, также производимые предприятием. Уста новленные в ряд ламинарные укрытия мо гут составлять единую сборочную линию. Внутрь оборудования в этом случае заса сывается чистый воздух необходимого класса, что исключает контаминацию про дукта с примесями из окружающей воз душной среды. ЗАО «Ламинарные системы» входит в состав холдинга Lamsystems, выпускающе го продукцию для производств и лаборато рий с высокими требованиями к чистоте воздушной среды – боксы микробиологи ческой безопасности I, II и III классов, ла минарные укрытия с вертикальным нисхо дящим потоком воздуха, вытяжные шкафы общего назначения и для химических ла бораторий, изделия индивидуального про ектирования – чистые зоны и чистые поме щения, специальную одежду для медицины и высокотехнологичных производств, где есть необходимость защиты продукта и окружающей среды от загрязнений, источ ником которых может являться человек. На всю выпускаемую холдингом продук цию есть регистрационные удостоверения, подтверждающие соответствие изделий заявленным техническим и эксплуатацион ным характеристикам. www.lamsys.ru Тел./факс: (3513) 544 744 Современные технологии © СТА-ПРЕСС
Made with FlippingBook
RkJQdWJsaXNoZXIy MTQ4NjUy