ЖУРНАЛ СТА 3/2012

Разработка автоматизированной системы управления вакуумным технологическим оборудованием линейного типа 68 СТА 3/2012 РАЗРАБОТКИ МАШИНОСТРОЕНИЕ www.cta.ru В ВЕДЕНИЕ Компания «Изовак» занимается раз- работкой и изготовлением вакуумного технологического оборудования для формирования тонкоплёночных по- крытий в таких областях, как дисплей- ная техника, оптика видимого и ИК-диапазонов, оптические системы телекоммуникаций, нанотехнологии. В 2010 году компанией был получен заказ от крупного китайского произво- дителя стекла для дисплейной про- мышленности на изготовление маши- ны линейного типа для нанесения слоев ITO (индиевого тиноксидного покрытия) и SiO 2 на стеклянные под- ложки размером 550 × 650 мм. Слой ITO применяется для создания на поверх- ности стекла прозрачных электродов, слой SiO 2 используется для защиты электродов от воздействия атмосферы. О СОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ И ТРЕБОВАНИЯ К РАЗРАБАТЫВАЕМОЙ СИСТЕМЕ УПРАВЛЕНИЯ Вакуумное технологическое обору- дование (далее ВТО) линейного типа является сложным технологическим оборудованием, для управления кото- рым без применения средств автомати- зации необходимо наличие специ- ального технического образования. В описываемом проекте ВТО представ- ляет собой 9 вакуумных камер с распо- ложенным внутри них транспортным конвейером и пристыкованные к вакуумным камерам столы загрузки- разгрузки. Общая длина машины ли- нейного типа, собранной из такого оборудования, составляет 27 м. Компо- новочная схема машины линейного типа показана на рис. 1. Буферные камеры имеют с каждой стороны транспортные вакуумные затворы. На столах загрузки-разгрузки рабочие устанавливают и снимают стеклянные заготовки будущих сенсор- ных дисплеев на транспортные карет- ки. Дешевизна рабочей силы в Китае позволяет обойти стороной автомати- зацию данных операций. Буферная камера низковакуумной откачки имеет два независимых объёма: один предна- значен для загрузки кареток в вакуум- ную среду, другой – для выгрузки обработанных заготовок на стол раз- грузки. В объёме загрузки производят- ся напуск воздуха и открывание транс- портного затвора для обеспечения загрузки каретки в камеру. После загрузки транспортный затвор закры- вается и осуществляется откачка дан- ного объёма до давления порядка 1 Па. Затем открывается транспортный за- твор между камерами низковакуумной и высоковакуумной откачки, и каретка переезжает в камеру высоковакуумной откачки. В этой камере каретка стоит в течение времени одного такта, при необходимости производится разогрев стеклянной подложки до требуемой температуры, после чего каретка пере- езжает в стыковочную камеру, где про- исходят догрев и стабилизация темпе- ратуры и переход от шагового передви- жения к непрерывному. Технологи- ческий коридор представляет собой набор технологических камер, количе- ство которых определяется требуемы- ми технологиями и покрытиями. В тех- нологическом коридоре осуществляет- ся магнетронное нанесение тонких плёнок материалов на подложки. Все Александр Супрунюк В статье описана разработка автоматизированной системы управления вакуумным технологическим оборудованием линейного типа. Рассказано об особенностях реализуемого этим оборудованием технологического процесса и об особых требованиях со стороны заказчика, показано, как всё это отразилось на архитектуре системы управления, операторском интерфейсе, выборе аппаратно-программных средств. Рис. 1. Компоновочная схема машины линейного типа Столы загрузки- разгрузки кассет Стыковочная камера Технологические камеры Разворотная камера Буферная камера низковакуумной откачки Буферная камера высоковакуумной откачки © СТА-ПРЕСС