ЖУРНАЛ СТА 3/2012

камеры имеют два трека движения: прямой и обратный. В разворотной ка- мере происходит перемещение каретки с прямого трека на обратный. При дви- жении по обратному треку изделия также проходят технологическую обра- ботку, пока каретка не достигнет сты- ковочной камеры. В стыковочной ка- мере производятся выхватывание ка- ретки из технологического конвейера и перемещение её в высоковакуумную буферную камеру. Затем следуют от- качка объёма выгрузки в низковакуум- ной камере, открывание межкамерно- го затвора и переезд каретки в низкова- куумную камеру. После закрытия меж- камерного затвора происходят напуск воздуха в объём выгрузки низкова- куумной камеры, открывание затвора на выезде из камеры и выгрузка карет- ки на стол разгрузки. Система автоматического управле- ния ВТО создавалась с целью сниже- ния требований к оператору, упроще- ния управления и обеспечения вос- производимости параметров наноси- мого покрытия. Было сформулировано требование: обеспечить запуск машины неподго- товленным оператором путём нажатия 3–4 кнопок. В результате в ВТО линей- ного типа были выделены три крупные системы, запуск каждой из которых должен осуществляться своей кноп- кой: откачная, транспортная и техно- логическая. Система управления ВТО должна была проектироваться таким образом, чтобы можно было осуществить пуско- наладку каждой из систем и по воз- можности каждой из камер по отдель- ности. Такое требование было продик- товано необходимостью успеть выпол- нить взятые на себя обязательства по срокам разработки и изготовления оборудования, невзирая на то что раз- личные покупные позиции имеют раз- ный срок поставки. Система управления откачными сред- ствами ВТО должна позволять выпол- нить следующие функции и задачи: ● сервисное обслуживание и предва- рительная настройка клапанов и датчиков с отображением состояний на мнемосхеме рабочего места опе- ратора; ● откачка в полуавтоматическом режи- ме отдельных камер со снятием откач- ных характеристик (применяется на этапе пусконаладки оборудования); ● автоматический вывод ВТО на ре- жим, поддержание заданного уровня вакуума в каждой из камер в процес- се технологической обработки под- ложек; ● аварийная сигнализация при отказе какого-либо клапана или насоса. Транспортная система управления ВТО должна позволять выполнить: ● сервисное обслуживание и предвари- тельную настройку сервоприводов и транспортных межкамерных затворов с отображением состояний на мне- мосхеме рабочего места оператора; ● переезды из одной камеры в другую в полуавтоматическом режиме (с от- слеживанием аварийных ситуаций); ● автоматический пересчёт парамет- ров движения кареток по транспорт- ной системе при смене технологиче- ского такта выпуска продукции и вы- работку расписания перемещений кареток по камерам; ● автоматическое перемещение каре- ток между камерами согласно распи- санию движения; ● автоматическую выгрузку кареток в хранилище в случае возникновения аварийной ситуации; ● автоматическую инициализацию транспортной системы при послеава- рийном восстановлении движения; ● аварийную сигнализацию при отка- зах сервоприводов, отклонении ре- альных параметров движения от за- данных расписанием. Технологическая система управле- ния предназначена для реализации следующих групп функций: ● проверка функционирования отдель- ных технологических устройств и под- бор оптимальных режимов работы; ● сохранение параметров работы тех- нологических устройств в виде ре- цептов технологических режимов; ● автоматический вывод технологиче- ских устройств на заданный режим работы и поддержание параметров работы в процессе выпуска продук- ции; ● аварийная сигнализация при выходе технологических параметров за до- пустимые границы. Выбираемые для системы управле- ния ПЛК должны обладать гибкостью и модульностью, высокими надёжнос- тью и помехозащищённостью, высо- кой производительностью для контро- ля большого числа параметров, а также иметь оптимальную цену и располагать дистрибьюторами в Китае либо на Тай- ване. А РХИТЕКТУРА СИСТЕМЫ Для выполнения всех предъявлен- ных требований было решено постро- ить архитектуру системы управления ВТО так, как показано на рис. 2. В чистой комнате расположены две рабочие станции: одна из них выпол- Р АЗ Р А БОТ КИ / МАШИНОС Т РОЕ НИЕ 69 СТА 3/2012 www.cta.ru Рабочая станция АРМ оператора PLC1 PLC2 PLC3 PLC1.1 PLC1.2 PLC1.9 PLC2.1 PLC2.2 PLC2.9 Рабочая станция газового анализатора RS 485 Сетевой коммутатор Ethernet Ethernet Газовый анализатор Вакуумные насосы и клапаны, пневматические распределители, клапаны системы охлаждения, реле протока воды, датчики вакуума, турбомолекулярные насосы, регуляторы мощности, средства сигнализации Технологические устройства, расходомеры газа, блоки питания и система охлаждения магнетронов Сервоприводы и датчики положения транспортной системы Рис. 2. Архитектура системы управления © СТА-ПРЕСС