СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА 2011-1

ЭЛЕМЕНТЫ И КОМПОНЕНТЫ чувствительность в слабых полях ≈ 10 В/Тл [5], что в 20 раз превышает чувствительность классического эле мента Холла на гетероструктуре n InSb i GaAs. Использование планарно го эффекта Холла в сверхтонких (на нотолщиннных) плёнках, например, пермаллоев позволяет создать элемен ты, обычно в форме круга, с магнит ной чувствительностью, в 20–30 раз превышающей среднестатистическую магнитную чувствительность клас сического элемента Холла, причём с высокой временной стабильностью. Другой важной особенностью нано толщинных магниточувствительных элементов является возможность их встраивания в магнитопроводы без разрыва магнитных цепей, например, при изготовлении датчиков тока. Не менее ценным является их технологи ческая совместимость с ИСЦМД. Серь ёзным недостатком элементов, функ ционирующих на планарном эффекте Холла, является гистерезис выходного сигнала. В настоящее время формируется мировая тенденция использования магнитомягкихферромагнитных кон центраторов магнитного потока для повышения магнитной чувствитель ности классических (полупроводни ковых) элементов Холла [6], в том чис ле в плоском исполнении [7], что по зволяет использовать элементыХолла для регистрации слабых магнитных полей. Используя явление концентра циимагнитного потока магнитомягки миферромагнитными телами опреде лённых геометрических форм, можно на два три порядка увеличить магнит ную чувствительность без ухудшения шумовых характеристик и временной стабильности. Наибольшее распространение полу чили концентраторы, выполненные в виде осесимметричных фигур (длин ные стержни, в том числе конусооб разные или с закруглением и т.п.). Ди лемма создания микроэлектронных датчиков квазистатических магнит ных полей с ферромагнитными кон центраторами заключается в значи тельном уменьшении коэффициента усиления магнитного потока K Y = В / В 0 внешнего магнитного поля В 0 с умень шением геометрической длины кон 13 WWW.SOEL.RU СОВРЕМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА ◆ № 1 2011 Представительство ЗАО «Фаворит –ЭК» в Республике Беларусь, г. Минск Тел.: +375 (17) 207 01 85 info@favorit ec.ru Представительство ЗАО «Фаворит ЭК» в Санкт Петербурге ООО «Невская Электронная Компания» Тел.: +7 (812) 449 52 40 www.spbnek.ru • nek@spbnek.ru Представительство ЗАО «Фаворит –ЭК» в НижнемНовгороде Тел.: +7 (910) 886 80 60 alexandra@favorit ec.ru Реклама © СТА-ПРЕСС