ЖУРНАЛ СТА 3/2012

няет функцию автоматизированного рабочего места (АРМ) оператора, вто- рая – анализатора газовой среды в тех- нологическом коридоре. Реализация проекта выполнена на ПЛК WAGO, так как за 20 лет наших разработок продукция этой немецкой компании очень хорошо себя зареко- мендовала в разных проектах и нами накоплен большой положительный опыт работы с нею. Контроллеры раз- делены по системам. Так, контроллер PLC1 отвечает за работу системы откачки, причём на каждой камере раз- мещается своя секция контроллера. Секция PLC1.1 собрана на программи- руемом контроллере узла полевой шины WAGO I/O 750-871, она управ- ляет работой буферной камеры низко- вакуумной откачки и столами загруз- ки-разгрузки. К ней подключены меха- нические вакуумные насосы Edwards, пневматические распределители и кла- паны системы охлаждения SMC, ва- куумные клапаны HTC, реле протока воды Honsberg, датчики вакуума MKS. Связь секции PLC1.1 с рабочей стан- цией осуществляется через сетевой коммутатор. Передача данных осу- ществляется по протоколу Modbus TCP. Связь секций PLC1.1 и PLC1.2 выполнена с помощью модулей расши- рения внутренней шины данных WAGO I/O 750-627 и WAGO I/O 750- 628. Аналогично выполнена связь между остальными секциями контрол- лера системы откачки. Секция PLC1.2 в дополнение к перечисленным уст- ройствам секции PLC1.1 управляет работой турбомолекулярных насосов Shimadzu и регуляторов Sipin, которые управляют мощностью, подаваемой в ИК-лампы. Остальные секции конт- роллера системы откачки не отличают- ся по составу и функциям от секции PLC1.2, хотя существуют некоторые различия в алгоритмическом обеспече- нии. Контроллер PLC2 управляет работой транспортной системы. Подобно конт- роллеру откачки он разнесён по каме- рам. На контроллер заведены сигналы управления сервоприводами Delta и датчиков положения Pepperl+Fuchs и Yamatake. Контроллер PLC3 отвечает за работу технологической системы и управляет поддержанием нужной газовой среды в камерах технологического коридора, управлением блоками питания магнет- ронов и системой охлаждения магнет- ронов. Нужная газовая среда обеспечи- вается применением расходомеров газа Advanced Energy. Передача информации о состоянии программных объектов между конт- роллерами выполняется с помощью очень удобного механизма – сетевых переменных. П РИМЕР РЕАЛИЗАЦИИ ВТО И АРМ ОПЕРАТОРА Готовая машина собиралась в техни- ческой комнате, часть машины видна на рис. 3. Сверху на камеры установле- ны электротехнические шкафы, в которых выполнен монтаж контролле- ров и сервоприводов. Остальные исполнительные механизмы размеще- ны прямо на камерах либо под ними. Столы загрузки-разгрузки, показанные на рис. 4, собирали в чистой комнате. Пример электротехнического шкафа для управления газовой средой в каме- ре представлен на рис. 5. Секция конт- роллера транспортной системы, управ- ляющая движением транспорта в буферной камере, показана на рис. 6. Разработка автоматизированного рабочего места оператора выполнена на базе программного продукта iX Developer шведской компании Beijer Electronics. Для запуска проекта на рабочей станции была приобретена лицензия среды исполнения на 4000 точек ввода-вывода. Пятилетний опыт работы с программными продуктами этой компании убедил нас в оптималь- ности по критерию цена/качество выбора их для использования в наших проектах. Главное окно АРМ операто- ра показано на рис. 7. Основой окна 70 СТА 3/2012 Р АЗ Р А БОТ КИ / МАШИНОС Т РОЕ НИЕ www.cta.ru Рис. 3. Внешний вид ВТО в технической комнате Рис. 4. Столы загрузки-разгрузки кареток транспортной системы с установленными каретками © СТА-ПРЕСС