ЖУРНАЛ СТА 3/2012

является мнемосхема ВТО, где отобра- жены все устройства, критичные с точки зрения обеспечения работоспо- собности оборудования. На мнемосхе- ме отображается давление в каждой из камер, состояние клапанов и насосов, позиции кареток в транспортной системе. В случае возникновения ава- рийной ситуации на каком-либо устройстве оно выделяется красным цветом. Над мнемосхемой расположе- ны кнопки управления. Как и требова- лось в постановке задачи, все управле- ние свелось к четырём переключателям типа On/Off. Переключатель Venting запускает и останавливает напуск воздуха в ваку- умные камеры, что необходимо делать перед выполнением профилактиче- ских работ на оборудовании. Переключатель Pumping запускает и останавливает откачку ВТО. Сначала выполняется откачка из камер через клапаны форвакуумной откачки VRV x.x механическими насосами Edwards до давления порядка 50 Па, после чего клапаны VRV x.x закрываются и откры- ваются клапаны форвакуумной откач- ки турбомолекулярных насосов VFV x.x и начинается разгон турбин этих насо- сов. Когда турбины разгонятся до номинальной скорости 32 000 об./мин, для оператора становится доступен Р АЗ Р А БОТ КИ / МАШИНОС Т РОЕ НИЕ 71 СТА 3/2012 www.cta.ru Рис. 5. Шкаф с расходомерами Advanced Energy и клапанами SMC Рис. 6. Контроллер транспортной системы буферной камеры Реклама ОФИЦИАЛЬНЫЙ ДИСТРИБЬЮТОР ПРОДУКЦИИ WAGO Тел.: (495) 234 0636 • Факс: (495) 234 0640 • info@prosoft.ru • www.prosoft.ru #403 ВСЁ ДЛЯ СТРОИТЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРОМОНТАЖА ОТ КЛЕММ ДО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОГО ЗДАНИЯ : © СТА-ПРЕСС